日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置

產(chǎn)品型號： DC111

所屬分類：

產(chǎn)品時間：2025-05-03

簡要描述：日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置DC111
設(shè)備是為MEMS器件和各種半導(dǎo)體研究開發(fā)的噴涂機分享。
1，支持MEMS器件
2便利性，在不平坦的表面上均勻涂膜厚度
3開展研究，通孔和溝槽填充應(yīng)用
4，配有加熱器內(nèi)置的樣品架信息化。樣品溫度gao可控制在100°C力量。
5，伺服電機使用我們的“ Si-servo"，它具有低振動方式之一，低熱量產(chǎn)生和高精度的特點。
6深刻認識，特殊規(guī)格也可提供首要任務。

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日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置DC111

設(shè)備是為MEMS器件和各種半導(dǎo)體研究開發(fā)的噴涂機。
 1新型儲能，支持MEMS器件 
2深入實施，在不平坦的表面上均勻涂膜厚度 
3，通孔和溝槽填充應(yīng)用 
4技術交流，配有加熱器內(nèi)置的樣品架交流。樣品溫度gao可控制在100°C。 
5關註，伺服電機使用我們的“ Si-servo”溝通協調，它具有低振動，低熱量產(chǎn)生和高精度的特點提供堅實支撐。
6活動，特殊規(guī)格也可提供。

特征

1.可以進行高精度，均勻的膜厚涂布?

使用可以制成微粒的噴嘴還不大，即使在常規(guī)旋涂器難以涂覆的區(qū)域好宣講，例如基材的傾斜表面，梯形和直角頂點特性，也可以形成均勻的膜服務機製。
另外，可以將內(nèi)嵌的抗蝕劑施加到微調(diào)器難以實現(xiàn)的空腔共創輝煌，通孔和溝槽結(jié)構(gòu)上培訓。
適用的膜厚從旋轉(zhuǎn)器級薄膜到超厚膜。膜厚度可以為1μm至600μm使用。（取決于化學(xué)性質(zhì)。）

2.可以使用多種化學(xué)溶液

它支持AZ電子材料的AZ-P4000系列，Kayak Microchem Co.的SU8建言直達，KMPR系列等大幅拓展，
以及苯并環(huán)丁烯樹脂（BCB）和各種聚合物。
也可以使用高粘度化學(xué)品大部分。（取決于化學(xué)性質(zhì)重要工具。）

3.減少化學(xué)藥品的浪費

由于它被涂到小的必要表面上，因此不會浪費化學(xué)液體更加堅強，例如旋涂廣度和深度。
另外，由于注射器被放置在噴霧單元附近基礎，因此藥液管線中的廢物少日漸深入。

日本三明電子sanmei三維抗蝕劑涂布裝置DC111

　技術(shù)指標　基本規(guī)格

　效用

　外形尺寸和重量