非接觸式Chucking的功能

它使用與Bernoulli方法不同的開發(fā)的非接觸吸附技術(shù)合作。
供應(yīng)壓力和吸力壓力之間的平衡使得無需接觸和低壓力的工件就可以抓住工件。

非接觸吸附技術(shù)

●穩(wěn)定的飛行特征：支持工件的流體膜的穩(wěn)定性是氣體軸承本身預判。沒有振動。
●低空氣消耗：空氣供應(yīng)和吸力都可以達(dá)到高效率，從而降低了空氣消耗調解製度。
●好的安靜：氣流常慢深入。沒有操作噪音，也沒有灰塵升起覆蓋範圍。

高精度

●間隙調(diào)整：可以通過結(jié)合供應(yīng)壓力和吸力壓力來調(diào)整差距一站式服務。
●高精度：浮動間隙均勻地與吸附表面均勻功能。工件在高度精確的平面上受支持。

高基本表現(xiàn)

●低壓力：整個工件都由流體膜支撐支撐作用。保留是統(tǒng)一的積極性。它不會強(qiáng)調(diào)工作。
●強(qiáng)烈的握力：盡管它是非接觸的解決，但它提供了與真空吸力杯相當(dāng)?shù)淖サ亓Α?br style="margin: 0px; padding: 0px;"/>●清潔：沒有與工件接觸性能。滲透多孔體的液體干凈。

非接觸式chuck的概述

流體靜態(tài)的穩(wěn)定傾斜特征和真空吸力的預(yù)壓效應(yīng)可實現(xiàn)低壓力和強(qiáng)大的抓地力不斷豐富。

吹掃 +真空=非接觸式chuck方案！

崛起如何運作

非接觸式Chucking基于使用碳多孔體的靜壓氣體軸承的技術(shù)。所提供的壓力流過多孔體同時，并均勻地從整個軸承表面流出實施體系。工件從軸承表面上升起，并帶有較小的間隙分享，從而使其變得流暢現場。

非接觸的工作方式

在非接觸式旋轉(zhuǎn)中，在氣體軸承的軸承表面上提供了微孔開展研究，并連接真空源以吸收它高質量。浮動的力和吸附的力是同時在同一平面上產(chǎn)生并保持平衡的，從而產(chǎn)生了非接觸的吸附狀態(tài)力量。目前質量，吸附力創(chuàng)造了凝固流體膜的效果，從而提高了工件的穩(wěn)定性表示。

高精度的工作方式

該工件一直處于非接觸式吸附狀態(tài)，由流體膜均勻地支撐而沒有不均勻的負(fù)載緊迫性，并且在保持恒定間隙的同時質生產力，它遵循軸承表面，形成精確的平面非常激烈。工件保持在無壓力提升行動，自然狀態(tài)，不會在高度方向上引起位移或振動技術交流。

非接觸式視頻

●演示

●φ200mm晶圓處理

應(yīng)用的示例

硅晶圓 chuck桌	硅晶圓 材料處理末端效應(yīng)器	玻璃板檢查臺
φ200mm兼容	φ200mm兼容	500x400mm
φ300mm兼容	φ300mm兼容	-

產(chǎn)品規(guī)格