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您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設(shè)備新趨勢?
MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆可能性更大。這是一種具有出色成本性能的設(shè)備。
該目標(biāo)是一種消耗量的新體系,使用尺寸較惺姑熑?。é?2mm)共謀發展,使運行成本較低。
AU目標(biāo)作為標(biāo)準(zhǔn)持續創新。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進行預(yù)處理的能力創造。
可選的AG膜具有出色的光澤,并且可以輕松觀察光學(xué)顯微鏡下透明材料的表面性能。
體積小巧,占地面積僅為傳統(tǒng)設(shè)備的1/3支撐能力,適配高校實驗室產品和服務、科研院所或小型企業(yè)等空間有限的環(huán)境。
一體化集成設(shè)計協同控製,減少外接組件需求不斷創新,安裝靈活,輕松融入現(xiàn)有實驗平臺體驗區。
配備智能觸控界面,參數(shù)設(shè)置直觀清晰提供了遵循,無需復(fù)雜培訓(xùn)即可獨立操作。
全自動真空控制系統(tǒng),一鍵啟動鍍膜流程利用好,顯著降低人為操作誤差參與水平。
支持多組工藝參數(shù)存儲,實驗條件快速切換有望,提升研發(fā)效率智能設備。
相比大型設(shè)備服務效率,采購成本降低50%以上不要畏懼,適合預(yù)算有限的用戶。
功耗低(<2kW)蓬勃發展,靶材利用率高作用,維護成本可控,長期使用經(jīng)濟性顯著問題。
模塊化設(shè)計示範推廣,關(guān)鍵部件可單獨更換,避免整機維修的高昂費用。
磁控濺射工藝成熟堅持好,膜層均勻性達±5%以內(nèi)開放要求,致密性好,附著力強。
支持多種靶材(金屬緊密相關、合金大幅增加、氧化物等),滿足導(dǎo)電膜指導、光學(xué)膜可以使用、防腐涂層等多樣化需求。
基片兼容性強關註點,可處理直徑≤4英寸的樣品廣泛認同,適用于微納器件、傳感器等小型化產(chǎn)品建強保護。
多重安全防護機制:真空異常報警、過流保護流動性、防濺射短路設(shè)計效高化,保障實驗安全。
封閉式濺射腔體反應能力,有效防止粉塵和氣體泄漏部署安排,符合實驗室環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
為材料科學(xué)投入力度、電子工程等學(xué)科提供實踐平臺效果,助力學(xué)生理解鍍膜技術(shù)原理。
支持小批量試生產(chǎn)關鍵技術,幫助初創(chuàng)企業(yè)快速驗證工藝逐漸完善,縮短研發(fā)周期。
可選配射頻電源了解情況、加熱基片臺等模塊,拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜法治力量。
提供定制化服務(wù)長期間,根據(jù)需求調(diào)整腔體尺寸或靶位數(shù)量。
? 高校實驗室:薄膜制備教學(xué)技術研究、新材料研發(fā)
? 企業(yè)研發(fā)中心:電子元件表面改性是目前主流、光學(xué)器件鍍膜
? 創(chuàng)客工坊:微型傳感器、柔性電子器件開發(fā)
物品 | 規(guī)格 |
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電源 | AC100V現場,10A 3核插頭便利性,用接地線 |
設(shè)備尺寸 | 寬度180mm,深度270mm高質量,高度183mm (設(shè)備重4.2kg) |
旋轉(zhuǎn)泵 | 排氣速度:5 l/min(G-5DA) (泵重量:5.5kg) 旋轉(zhuǎn)泵油(SMR-100)用法:180 ml |
樣品室大小 | 內(nèi)徑86mm信息化,高度60mm(硬玻璃) |
樣本階段尺寸 | φ83mm 樣品量有效直徑φ30mm活動上,高度20mm |
目標(biāo) | φ30mm磁石電極 AU(標(biāo)準(zhǔn)),可選(Ag) |
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MSP-MINI的
AU目標(biāo)
[t = 0.1mm]
MSP-MINI的
Ag目標(biāo)
[t = 0.5mm]
旋轉(zhuǎn)泵油(包括500毫升)
[SMR-100]