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目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運(yùn)用
什么是硅晶圓關規定? | |||||||||
是半導(dǎo)體芯片的原材料,以及稱為ingot的高硫化硅的原材料被處理成薄磁盤應用前景。為了在其上應(yīng)用超精細(xì)處理指導,在鏡子上重復(fù)并完成拋光過程,例如包裝和拋光兩個角度入手。您可以將其視為最平坦的事情關註點。至于確認(rèn)掉落的灰塵,可用于大學(xué)研究的4英寸喚醒(100φ)很便宜進入當下,而且處理很容易建強保護。過去,沒有目的是確認(rèn)灰塵首次。 *它與用于粘合劑的硅酮不同流動性。 | ![]() | ||||||||
☆過去,那些份額的粘合劑紙被用于相同的目的生產效率。我從未直接比較可見性反應能力,但我認(rèn)為大約兩位數(shù)變得更容易。 | |||||||||
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如何使用硅晶圓 | |||||||||
[在硅Waeha中檢查垃圾的程序]
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![]() 用法的圖像 ![]() | |||||||||
[在每個過程中粘貼掉灰塵的量]例如應用擴展,假設(shè)您有以下生產(chǎn)線過程中。該過程A使用設(shè)備,然后運(yùn)輸和存儲建立和完善,并正在處理手頭上工作的過程B特征更加明顯。以前,在最終檢查過程中,在此行中發(fā)現(xiàn)了垃圾缺陷的發(fā)現(xiàn),如果是NG估算,將從過程中進(jìn)行修復(fù)。即使您采取垃圾措施達到,如果您不知道垃圾將遵守該過程的位置深入各系統,則可以提高整個清潔室的清潔度,從而依靠粒子柜臺的價值或教育工人進(jìn)行教育清潔房間的舉止的可能性。 在這種情況下進一步推進,對于諸如設(shè)備中的駕駛系統(tǒng)或存儲問題之類的情況,它幾乎無效系列。 但是明確相關要求,如果使用硅Waeha來收集灰塵的樣本,那么您在廢棄的時間內(nèi)增加了多少方案?您可以轉(zhuǎn)換為單位區(qū)域并預(yù)測垃圾附件特點。此外,由于可以在每個過程中單獨完成統籌發展,即使您采取措施品質,也可以采取可以預(yù)期具有最小和最大效果的措施 。 此外慢體驗,硅晶片可以與清理一樣多次使用更加廣闊,因此對于測量而言,它的成本很小技術先進。 | |||||||||
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[補(bǔ)充 - 質(zhì)量可視化] 該方法不能判斷為秋季和塵埃的大小和大尺寸的“定量"技術節能,因此它是“定性可視化"提高。但是,我們可以判斷其中有多少(接近)延伸,因此我們認(rèn)為它可以用作客觀標(biāo)準(zhǔn)有很大提升空間。 | |||||||||
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在硅晶片中看起來像什么? | |||||||||
[硅晶圓粘合劑的外觀是什么樣的?這是給出的那么實際上是什么樣的認為?右側(cè)的照片是一般環(huán)境中的硅晶圓盒,它是用帶有滴和灰塵的攝像機(jī)閃光燈拍攝的國際要求。您根本看不到掉落的灰塵紮實。當(dāng)然,您幾乎無法用正常的燈肉眼檢查垃圾新趨勢。但是可能性更大,接下來,您會看到相同的晶圓被多元的光照射,并且掉落的灰塵清楚地附著使命責任。目前共謀發展,訣竅是在低角度以低角度照射偏振光,以免發(fā)生強(qiáng)反射持續創新。這樣創造,只出現(xiàn)晶圓上的垃圾。 這種方法的優(yōu)點之一是很容易拍照分析,但底部照片是上述照片的修剪。如果有些像纖維一樣,您可以清楚地檢查垃圾的形狀強化意識。在視覺確認(rèn)的情況下聽得進,最小的確認(rèn)可以確認(rèn)為約10μm。 | ![]() ![]() ![]() | ||||||||
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觀察硅waeha的灰塵 | |||||||||
[觀察硅Waeha中的灰塵]接下來合理需求,讓我們嘗試根據(jù)周圍環(huán)境的掉落和灰塵的變化全技術方案。首先,我們準(zhǔn)備了三個硅晶片先進水平,暴露于1)沒有假期的辦公室去突破,2)戶外1F和3)30分鐘。右側(cè)的照片是收集和拍照的照片提供了遵循。1)假日辦公室...它不受歡迎,并且是最美麗的,因為它不受歡迎且沒有浮動的灰塵利用好。但是參與水平,您會看到一些相對較大的且輕便的異物附著。 2)1F戶外...最大的粘合劑量暴露于交通面臨的位置有望。大小有點小智能設備,其中許多是灰塵。 3)室外14F:您可以看到該數(shù)字小于1F服務效率。此處的目標(biāo)粒子是由于尺寸小而掉落得非常緩慢的粒子不要畏懼。因此,它漂浮在空中一段時間蓬勃發展,但最終掉落作用。因此,位置越高問題,濃度越薄應用的選擇,而另一個則傾向于更靠近表面。 | ![]() ![]() ![]() | ||||||||
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轉(zhuǎn)移并觀察粘附灰塵 | |||||||||
[轉(zhuǎn)移并觀察粘合灰塵]以同樣的方式,您可以將灰塵從干凈的房間中的手套和雨雨等工具轉(zhuǎn)移到硅晶圓上并進(jìn)行檢查大大縮短。用干凈的雨刮器清理后堅持好,照片是晶圓的頂部。如果垃圾簡單地放在硅晶片上高質量,則可以用干凈的刮水器 +工業(yè)酒精輕松將其除去構建。換句話說,可以低成本使用回收利用大幅增加,因此您幾乎無法以這種方式關(guān)心運(yùn)行成本平臺建設。 *由于干凈的長凳沒有用于拍攝,因此并非垃圾零服務延伸。 接下來先進技術,讓我們用手套輕輕觸摸晶圓。目前貢獻力量,我只是稍微觸摸了它合作,而無需付出任何努力。 最后服務好,在晶圓上觀察到我的鐘燈首次。觸摸后,您會看到垃圾連接到手指的形狀上效高化。 這樣生產效率,您也可以從目標(biāo)中轉(zhuǎn)錄垃圾。 | ![]() ![]() ![]() | ||||||||
*在上面的實驗中部署安排,去除層狀光的綠色過濾器進(jìn)行攝影競爭激烈。在視覺確認(rèn)的情況下,似乎很容易看到它何時具有綠色過濾器效果。 | |||||||||
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在這種情況下是有效的 | |||||||||
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硅晶圓晶圓盒 /專用鑷子 | |||||||||
北極光和最佳伴侶,硅瓦哈人是對下降和灰塵的有力確認(rèn)了解情況。易于-to -handle One -poce蓋,帶有彈簧的盒子(由聚丙烯制成)法治力量,也可以同時使用專用的鑷子長期間。 請從以下查詢表中使用。 *銷售方法是一組4英寸的硅晶片技術研究,還有一件箱子是目前主流。請注意,我們不出售25個盒式磁帶現場。
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