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目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運(yùn)用

發(fā)布時間:2025-02-05 點擊量:427

目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運(yùn)用

什么是硅晶圓關規定?

是半導(dǎo)體芯片的原材料,以及稱為ingot的高硫化硅的原材料被處理成薄磁盤應用前景。為了在其上應(yīng)用超精細(xì)處理指導,在鏡子上重復(fù)并完成拋光過程,例如包裝和拋光兩個角度入手。您可以將其視為最平坦的事情關註點。至于確認(rèn)掉落的灰塵,可用于大學(xué)研究的4英寸喚醒(100φ)很便宜進入當下,而且處理很容易建強保護。過去,沒有目的是確認(rèn)灰塵首次。
*它與用于粘合劑的硅酮不同流動性。
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☆過去,那些份額的粘合劑紙被用于相同的目的生產效率。我從未直接比較可見性反應能力,但我認(rèn)為大約兩位數(shù)變得更容易。

如何使用硅晶圓

[在硅Waeha中檢查垃圾的程序]

  • 準(zhǔn)備干凈的臺面競爭激烈,因為它是一種簡單的類型投入力度。如果您不這樣做,您將不知道何時附著垃圾越來越重要。

  • 清理長凳上的硅晶片切實把製度,并保持表面無垃圾。使用專用的鑷子進(jìn)行工作改革創新,以免遵守處理最新。

  • 將其放在晶圓盒中,并在要檢查的過程中將其暴露在一定時間段內(nèi)最深厚的底氣。

  • 結(jié)束后敢於挑戰,蓋上箱子并將其攜帶在長凳上并觀察它。

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用法的圖像

[在每個過程中粘貼掉灰塵的量]

例如應用擴展,假設(shè)您有以下生產(chǎn)線過程中。該過程A使用設(shè)備,然后運(yùn)輸和存儲建立和完善,并正在處理手頭上工作的過程B特征更加明顯。以前,在最終檢查過程中,在此行中發(fā)現(xiàn)了垃圾缺陷的發(fā)現(xiàn),如果是NG估算,將從過程中進(jìn)行修復(fù)。

即使您采取垃圾措施達到,如果您不知道垃圾將遵守該過程的位置深入各系統,則可以提高整個清潔室的清潔度,從而依靠粒子柜臺的價值或教育工人進(jìn)行教育清潔房間的舉止的可能性。
在這種情況下進一步推進,對于諸如設(shè)備中的駕駛系統(tǒng)或存儲問題之類的情況,它幾乎無效系列。

但是明確相關要求,如果使用硅Waeha來收集灰塵的樣本,那么您在廢棄的時間內(nèi)增加了多少方案?您可以轉(zhuǎn)換為單位區(qū)域并預(yù)測垃圾附件特點。此外,由于可以在每個過程中單獨完成統籌發展,即使您采取措施品質,也可以采取可以預(yù)期具有最小和最大效果的措施

。 此外慢體驗,硅晶片可以與清理一樣多次使用更加廣闊,因此對于測量而言,它的成本很小技術先進。
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?在設(shè)備驅(qū)動系統(tǒng)中灰塵
,清潔不足
?過程 - 特定灰塵
?由于運(yùn)輸過程中的振動而引起的附件
?運(yùn)輸過程中的中間環(huán)境
?而不是更換登機(jī)
?存儲內(nèi)部的清潔不足
?存儲期間的空氣環(huán)境
?工人附著的垃圾
?工具附著的垃圾
?工作臺調(diào)整
[補(bǔ)充 - 質(zhì)量可視化]

該方法不能判斷為秋季和塵埃的大小和大尺寸的“定量"技術節能,因此它是“定性可視化"提高。但是,我們可以判斷其中有多少(接近)延伸,因此我們認(rèn)為它可以用作客觀標(biāo)準(zhǔn)有很大提升空間。

在硅晶片中看起來像什么?

[硅晶圓粘合劑的外觀是什么樣的?這是給出的

那么實際上是什么樣的認為?右側(cè)的照片是一般環(huán)境中的硅晶圓盒,它是用帶有滴和灰塵的攝像機(jī)閃光燈拍攝的國際要求。您根本看不到掉落的灰塵紮實。當(dāng)然,您幾乎無法用正常的燈肉眼檢查垃圾新趨勢。
但是可能性更大,接下來,您會看到相同的晶圓被多元的光照射,并且掉落的灰塵清楚地附著使命責任。目前共謀發展,訣竅是在低角度以低角度照射偏振光,以免發(fā)生強(qiáng)反射持續創新。這樣創造,只出現(xiàn)晶圓上的垃圾。

這種方法的優(yōu)點之一是很容易拍照分析,但底部照片是上述照片的修剪。如果有些像纖維一樣,您可以清楚地檢查垃圾的形狀強化意識。在視覺確認(rèn)的情況下聽得進,最小的確認(rèn)可以確認(rèn)為約10μm。

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觀察硅waeha的灰塵

[觀察硅Waeha中的灰塵]

接下來合理需求,讓我們嘗試根據(jù)周圍環(huán)境的掉落和灰塵的變化全技術方案。首先,我們準(zhǔn)備了三個硅晶片先進水平,暴露于1)沒有假期的辦公室去突破,2)戶外1F和3)30分鐘。右側(cè)的照片是收集和拍照的照片提供了遵循。

1)假日辦公室...它不受歡迎,并且是最美麗的,因為它不受歡迎且沒有浮動的灰塵利用好。但是參與水平,您會看到一些相對較大的且輕便的異物附著。

2)1F戶外...最大的粘合劑量暴露于交通面臨的位置有望。大小有點小智能設備,其中許多是灰塵。

3)室外14F:您可以看到該數(shù)字小于1F服務效率。此處的目標(biāo)粒子是由于尺寸小而掉落得非常緩慢的粒子不要畏懼。因此,它漂浮在空中一段時間蓬勃發展,但最終掉落作用。因此,位置越高問題,濃度越薄應用的選擇,而另一個則傾向于更靠近表面。
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轉(zhuǎn)移并觀察粘附灰塵

[轉(zhuǎn)移并觀察粘合灰塵]

以同樣的方式,您可以將灰塵從干凈的房間中的手套和雨雨等工具轉(zhuǎn)移到硅晶圓上并進(jìn)行檢查大大縮短。

用干凈的雨刮器清理后堅持好,照片是晶圓的頂部。如果垃圾簡單地放在硅晶片上高質量,則可以用干凈的刮水器 +工業(yè)酒精輕松將其除去構建。換句話說,可以低成本使用回收利用大幅增加,因此您幾乎無法以這種方式關(guān)心運(yùn)行成本平臺建設。
*由于干凈的長凳沒有用于拍攝,因此并非垃圾零服務延伸。

接下來先進技術,讓我們用手套輕輕觸摸晶圓。目前貢獻力量,我只是稍微觸摸了它合作,而無需付出任何努力。

最后服務好,在晶圓上觀察到我的鐘燈首次。觸摸后,您會看到垃圾連接到手指的形狀上效高化。
這樣生產效率,您也可以從目標(biāo)中轉(zhuǎn)錄垃圾。
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*在上面的實驗中部署安排,去除層狀光的綠色過濾器進(jìn)行攝影競爭激烈。在視覺確認(rèn)的情況下,似乎很容易看到它何時具有綠色過濾器效果。
在這種情況下是有效的
  • 確認(rèn)在清潔室和產(chǎn)品等候區(qū)域的存儲位置的一定時間內(nèi)確認(rèn)垃圾

  • 在特定過程中附有多少垃圾學習?

  • 在難以測量的地方(例如在爐子或設(shè)備中)是否有垃圾粘附?

  • 確認(rèn)清潔設(shè)備的性能改善,例如干凈的攤位,干凈的長凳和空氣淋浴

硅晶圓晶圓盒 /專用鑷子

北極光和最佳伴侶,硅瓦哈人是對下降和灰塵的有力確認(rèn)了解情況。易于-to -handle One -poce蓋,帶有彈簧的盒子(由聚丙烯制成)法治力量,也可以同時使用專用的鑷子長期間。
請從以下查詢表中使用。
*銷售方法是一組4英寸的硅晶片技術研究,還有一件箱子是目前主流。請注意,我們不出售25個盒式磁帶現場。
  • 4英寸硅晶圓套件

  • 4英寸Wakehaha-只有鑷子

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