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18922517093電子顯微鏡樣品導電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機
| 用鋨離子鍍膜 機電鏡觀察 解決您的難題集成技術！ 它對于防止充電新創新即將到來、減少顆粒感和熱損傷非常有效。  |
鋨等離子鍍膜機是一種主要用于SEM樣品的導電薄膜生產(chǎn)裝置創新的技術，采用“使用直流輝光放電的負輝光相區(qū)域的等離子成膜方法"設計能力。導電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成（在負輝光相區(qū)域內成膜）。自動操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現(xiàn)性至關重要。 該產(chǎn)品陣容包括鋨薄膜專用型號和配備使用萘的等離子聚合膜機構的兩用型號質量。可選配超薄膜形成機構表示、親水處理機構不久前、深樣品機構，支持各種應用質生產力。 此外機構，除了傳統(tǒng)的開關型外，鋨薄膜型號的產(chǎn)品陣容中還新增了觸摸屏型背景下。 |  |
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對于要用掃描電子顯微鏡（SEM）拍照的樣品多種場景，必須在樣品表面形成導電薄膜科技實力，以防止其因電子束照射而帶電開展試點。 傳統(tǒng)上，導電薄膜是使用濺射或金氣相沉積方法形成的可靠保障。然而規劃，人們擔心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞。 因此共同，Philgen 開發(fā)了鋨等離子體鍍膜機發展，這是一種可以利用直流等離子體 CVD（負輝光相區(qū)域成膜）方法形成導電鋨薄膜的設備。 當將少量4氧化鋨（OsO4）氣體/萘氣體（C10H18）引入真空室中并發(fā)生輝光放電時，瞬間變成等離子體狀態(tài)推進一步，分為正輝光相區(qū)和負輝光相區(qū)探索創新。 此時，電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負輝相區(qū)域的樣品表面上帶動擴大，形成非晶態(tài)鋨薄膜/等離子體聚合膜（萘）前來體驗。 鋨薄膜是非晶態(tài)的，因此不會對樣品造成熱損傷實現了超越，并且當用SEM對涂層樣品進行拍照時發揮重要帶動作用，可以獲得極其清晰的圖像，沒有顆粒感確定性。 |
◆關于鋨薄膜
◆關于等離子聚合膜（萘制碳氫化合物膜）
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