您好智能設備，歡迎來到秋山科技（東莞）有限公司！
全國免費服務(wù)熱線
18922517093您好智能設備，歡迎來到秋山科技（東莞）有限公司！
全國免費服務(wù)熱線
18922517093
通過將金屬電極放置在陶瓷內(nèi)部并將它們燒結(jié)在一起稍有不慎，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術(shù)來滿足用戶需求的發生。我們根據(jù)等離子體環(huán)境領(lǐng)域和電子束使用領(lǐng)域等應(yīng)用提供從開發(fā)到原型設(shè)計階段的產(chǎn)品。
通過控制AlN的體積電阻率進一步完善，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力相結合。
通過高度靈活的加熱器設(shè)計可以實現(xiàn)出色的溫度均勻性。
由于AlN和電極是一體燒結(jié)的影響，因此不會因電極劣化而隨時間發(fā)生變化相關性。
還提供采用粘合技術(shù)的陶瓷空心結(jié)構(gòu)。
?采用層壓技術(shù)製高點項目，可實現(xiàn)高的面內(nèi)溫度均勻性的必然要求。
?通過使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染物聯與互聯。
?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性狀況。
使用我們的氧化鋁噴涂技術(shù)可以形成致密的絕緣層。
與氧化鋁板型相比取得了一定進展，其制造成本更低業務。
與更便宜的薄膜類型相比，它具有更高的耐用性有所增加。
通過使用高導熱率的AlN完善好，可以實現(xiàn)優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）。
我們擁有IR相機供給、TC晶圓等特色檢測環(huán)境全過程。
平整度0.2μm以下
根據(jù)晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）。
