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通過(guò)將金屬電極放置在陶瓷內(nèi)部并將它們燒結(jié)在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器優勢與挑戰。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器集成應用，可充分利用各種材料技術(shù)來(lái)滿足用戶需求。我們根據(jù)等離子體環(huán)境領(lǐng)域和電子束使用領(lǐng)域等應(yīng)用提供從開發(fā)到原型設(shè)計(jì)階段的產(chǎn)品問題分析。
通過(guò)控制AlN的體積電阻率迎來新的篇章，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。
通過(guò)高度靈活的加熱器設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)出色的溫度均勻性不負眾望。
由于AlN和電極是一體燒結(jié)的共同學習，因此不會(huì)因電極劣化而隨時(shí)間發(fā)生變化。
還提供采用粘合技術(shù)的陶瓷空心結(jié)構(gòu)推動並實現。
?采用層壓技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高的面內(nèi)溫度均勻性。
?通過(guò)使用高純度氧化鋁更加完善，可以減少金屬污染自行開發。
?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性。
使用我們的氧化鋁噴涂技術(shù)可以形成致密的絕緣層取得顯著成效。
與氧化鋁板型相比處理方法，其制造成本更低。
與更便宜的薄膜類型相比責任，它具有更高的耐用性服務。
通過(guò)使用高導(dǎo)熱率的AlN，可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）持續向好。
我們擁有IR相機(jī)舉行、TC晶圓等特色檢測(cè)環(huán)境。
平整度0.2μm以下
根據(jù)晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）不容忽視。
