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15270896115軟薄膜和薄膜用臺式離線電容式測厚儀介紹
| 模型 | TOF-C2 *TOF-C 后繼型號 |
|---|---|
| 測量方法 | 非接觸式/電容式 |
| 測量目標 | 薄膜真諦所在、粘性保護膜、易吸灰塵的薄膜 |
| 測量原理 | 電容式 |
高測量分辨率
由于它是一種非接觸式方法結構不合理，因此非常適合用接觸式方法難以測量的薄膜提供深度撮合服務。
即使在粗糙的表面上也可以進行測量。
定量測量
操作簡單（具有介電常數(shù)自動設(shè)定功能）
| 測量厚度 | ～500μm |
|---|---|
| 測量長度 | 10～10000mm |
| 測量間距 | 1毫米~ |
| 最小顯示值 | 0.01微米 |
| 電源電壓 | 交流100V 50/60Hz |
| 工作溫度限制 | 5～40℃（測量時溫度變化1℃以內(nèi)） |
| 濕度 | 35-80%（無冷凝） |
