半導(dǎo)體清洗設(shè)備在線使用的ECN型化學(xué)液體加熱器介紹

用于半導(dǎo)體化學(xué)清洗設(shè)備的在線使用

ECN型化學(xué)液體加熱加熱器

高純度制成
● 所有接液部件均采用 PFA
● 無雜質(zhì)洗脫
● 使用低溫加熱器時(shí)化學(xué)品不會變質(zhì)
● 即使使用堿性化學(xué)品也不會變質(zhì)

可靠性
● 最大工作壓力：0.4MPa
● 最高工作溫度：標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品為80℃高效化，特殊規(guī)格可生產(chǎn)至120℃大大提高。
● 內(nèi)置過熱報(bào)警傳感器。
● 停電等突然關(guān)機(jī)時(shí)完成的事情，溫升約10℃
　　調整推進。高溫下安全使用
● 內(nèi)置漏水傳感器
● 耐流量波動和沖擊

維護(hù)方便
● 采用低溫加熱器，因此使用壽命為半性研究成果，無需更換加熱器
● 非常緊湊發展契機，易于安裝安裝
● 電氣控制 有效利用現(xiàn)有設(shè)施