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簡(jiǎn)易型微量金屬污染物采樣設(shè)備（SC系列）
SC-3100
●通過(guò)與計(jì)算機(jī)聯(lián)機(jī)，可選擇豐富多樣的采樣模式部署安排，對(duì)晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進(jìn)行采樣操作競爭激烈。
●因?yàn)椴惶枰獠抠Y源，也不太占地方效果，易于導(dǎo)入學習。
●采樣操作由設(shè)備自動(dòng)完成，無(wú)需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動(dòng)由設(shè)備自動(dòng)操作，與SC-2000相比結構重塑，可以減少由操作員引起的污染。
SC-8100
●具有對(duì)親水晶圓污染物進(jìn)行采樣的功能空白區、對(duì)于硅材質(zhì)以外的晶圓貢獻法治、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
●對(duì)于晶圓表面狀態(tài)應用優勢、采樣液種類的要求不苛刻相對較高，另外，還可以對(duì)非重金屬離子進(jìn)行采樣發展需要。
●當(dāng)然創新內容，也可以進(jìn)行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。
SC-9100
●具有對(duì)親水晶圓污染物進(jìn)行采樣的功能信息、對(duì)于硅材質(zhì)以外的晶圓實踐者、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
●對(duì)于晶圓表面狀態(tài)力量，以及采樣液種類的采樣限制可靠，本設(shè)備有所突破，另外方式之一，也可以對(duì)非重金屬離子進(jìn)行采樣我有所應。
●當(dāng)然，也可以進(jìn)行常規(guī)的憎水采樣操作首要任務。
●采樣液的供給和支架具的移動(dòng)由設(shè)備自動(dòng)操作管理，與SC-8100相比，可以減少由操作員引起的污染服務為一體。
| 設(shè)備名稱 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
| 操作控制 | 電腦(※3) | |||||||||
| 支架具的裝/卸 | 自動(dòng) | 手動(dòng) | 自動(dòng) | |||||||
| 采樣液的供給 | 自動(dòng) | 手動(dòng) | 自動(dòng) | |||||||
| 采樣液的回收 | 自動(dòng)(※1) | 手動(dòng) | 自動(dòng) | |||||||
| 采樣基本模式 | 圓環(huán)形方案、扇形、固定半徑相互配合、圓弧 | |||||||||
| 采樣追加模式(※1) | 端面統籌發展、弧形、長(zhǎng)方形 | |||||||||
| 晶圓排片(※2) | 對(duì)圓環(huán)形積極回應、固定半徑慢體驗、端面采樣模式有追加項(xiàng) | |||||||||
| 吸取式采樣 | 〇 | ー | 〇 | |||||||
| 親水面采樣 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
| 外形尺寸(WxDxH)(mm) | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
| 重量 | 35Kg | 40Kg | 50Kg | |||||||
| 安裝環(huán)境 | 無(wú)塵通風(fēng)柜內(nèi) | |||||||||
| 所需外部資源 | 電源(100～240VAC)、 純凈水全會精神、干潔氣源 | 電源(100～240VAC)左右、 N2、干潔氣源 | 電源(100～240VAC)智能化、 純凈水生產製造、N2拓展基地、干潔氣源 | |||||||
※1，2: 追加項(xiàng)目需要另外計(jì)費(fèi)多元化服務體系，另外處理，對(duì)于親水狀態(tài)的晶圓，不能進(jìn)行端面采樣培訓，謹(jǐn)請(qǐng)諒解等特點。
※3：配置電腦需要另外計(jì)費(fèi)。
