用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計(jì)數(shù)器”介紹

發(fā)布時(shí)間：2024-02-01　點(diǎn)擊量：1261

用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計(jì)數(shù)器"介紹

一種特殊的測量裝置，可以測量落塵而不是浮塵有所應。
對(duì)10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)道路。

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量推進一步，則應(yīng)使用落塵計(jì)數(shù)器而不是顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行測量。

原因是：

① 導(dǎo)致附著異物的粗顆粒較大開展，范圍為 10 μm 至 100 μm發行速度，無法用顆粒計(jì)數(shù)器測量。

② 大顆粒不會(huì)漂浮在空氣中強大的功能，而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個(gè)充分發揮。

此外與時俱進，ISO14644-17自2021年2月起頒布，可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標(biāo)解決方案。（點(diǎn)擊這里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之間的關(guān)系）

因此更優質，通過測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵，可以管理附著的異物初步建立。

這是一種特殊的測量裝置，可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵重要方式。

利用樣品收集板（4英寸硅片）綜合運用，利用粗顆粒的沉降特性，對(duì)下落的10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)增產。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進(jìn)行評(píng)估脫穎而出。

*硅晶片：圓盤狀樣品板，是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導(dǎo)體基板的方法。

本機(jī)是專門利用硅片樣品對(duì)10μm至100μm粗顆粒進(jìn)行分類和計(jì)數(shù)的測量設(shè)備積極影響。

對(duì)于頭發(fā)等100μm以上的異物，由于其形狀和重量，不適合使用硅片作為樣品進一步提升。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調(diào)查較大的異物進行探討。

	DTSP10-02	DTSP10-03
最小可測量粒徑	10μm	10μm
粒度分級(jí)	10μm、30μm提供有力支撐、50μm管理、100μm	10μm、30μm管理、50μm新型儲能、100μm 可在11～99μm*3范圍內(nèi)任意設(shè)定值
兼容晶圓尺寸	4英寸	4英寸	2英寸*4)
最大測量面積	φ80mm	φ80mm	φ30mm
修剪功能	是的	是的	沒有任何
顯示切換	沒有任何	有（可單獨(dú)顯示）

*3) 任意分類設(shè)定的閾值是從校準(zhǔn)曲線中獲得的值，無法保證計(jì)數(shù)效率應用提升。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計(jì)數(shù)效率不同需求，對(duì)于 2 英寸區(qū)域無法保證計(jì)數(shù)效率，計(jì)數(shù)效率受到限制新品技。

▼DTSP10-02	▼DTSP10-03