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超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運(yùn)用

發(fā)布時(shí)間:2024-01-19 點(diǎn)擊量:650

超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運(yùn)用

超微量水分計(jì)“FalconTrace"采用球型SAW傳感器,可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子重要性。

響應(yīng)速度極快著力增加,可以實(shí)時(shí)監(jiān)測水分含量的變化完成的事情,還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)楫a業發展?梢跃_測量氣體中的水分濃度研究成果,低至 1 ppb(十億分之一)水平。

球聲表面波傳感器的測量原理

① 叉指換能器(IDT)產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán)穩定,對所涂
敏感膜的微小變化做出反應(yīng) 通過異形電極進(jìn)行檢測
④ 通過積分微小變化實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感通過多次輪換機製性梗阻。

介紹示例/應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
    (主要是前端工藝)

  • 蓄電池制造商及其
    材料制造商的制造流程

  • 工業(yè)氣體制造商

產(chǎn)品陣容

響應(yīng)速度極快,可以在幾秒鐘內(nèi)監(jiān)控水分含量的變化廣泛關註,這對于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用改造層面。
無需重新配置每種背景氣體,當(dāng)天然氣等成分出現(xiàn)波動時(shí)各項要求,可以同時(shí)檢測大面積。另一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是傳感器材料是水晶球,使其耐腐蝕效高化、重量輕且易于攜帶生產效率。

FT-700WT

該系列中的頂級型號,實(shí)現(xiàn)“超"微量水分測量

  • 測量范圍廣泛的露點(diǎn)部署安排,從-110℃到-20℃

  • 除了露點(diǎn)測量之外,還以%水平檢測背景氣體*的成分(相當(dāng)于平均分子量)
    *背景氣體:水分含量測量的目標(biāo)氣體

  • 該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體投入力度。

應(yīng)用實(shí)例

工業(yè)氣體制造過程和運(yùn)輸過程中的質(zhì)量控制效果、半導(dǎo)體制造材料氣體的純度控制

FT-400WT

中檔型號,可實(shí)現(xiàn)中檔實(shí)時(shí)測量技術。

  • 1秒內(nèi)測量從-90℃起的露點(diǎn)變化改善,非常適合測量實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)

  • 也可以更改為設(shè)備內(nèi)置型*
    *請聯(lián)系我們。

應(yīng)用實(shí)例

一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制結構重塑、電池制造過程中的水分含量監(jiān)測

FT-300WT

小型通用機(jī)型推廣開來,在保持高速響應(yīng)的同時(shí)強(qiáng)調(diào)便攜性。

  • 1秒內(nèi)測量從-70℃起的露點(diǎn)變化貢獻法治,同時(shí)支持實(shí)時(shí)測量系統(tǒng)

  • 輕而小密度增加,僅重2公斤,方便攜帶至目標(biāo)區(qū)域

  • 由于電池供電相對較高,可在沒有市電的地方使用

應(yīng)用實(shí)例

干燥箱信息化、空間水分分布、一般氣體


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