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Nanotech簡易型膜厚測試儀Autocrater工作原理分析
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首先,滴下金剛石漿料,并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面也逐步提升。 | 接下來,觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并 測量上圖中 X 和 Y 之間的距離能力和水平。 |
![]() | 根據(jù)測量的長度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑組織了,根據(jù)上式計算膜厚度。 |
●規(guī)格
◆軸轉(zhuǎn)速:100~3,000rpm
◆可設定旋轉(zhuǎn)時間:1秒~60分鐘
◆最大樣品尺寸:φ40mm
*可選配亞克力蓋註入了新的力量。
Autocrater可以通過用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學顯微鏡測量拋光痕跡的長度來測量薄膜厚度表現。
■無需樣品制備
無需進行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面不要畏懼。
可以按原樣測量沉積的樣品導向作用。
■可評估多層膜
各層的膜厚可以通過化學處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來評價。
■應用實例
TiN作用、CrN重要意義、TiAlN落實落細、TiCN 等、DLC組成部分、電鍍深入闡釋、這些的多層膜
本試驗機根據(jù)磨痕長度測量結果,采用ISO20423《弧坑磨削法測定涂層厚度》中規(guī)定的計算方法計算涂層厚度高效化。此外大大提高,為了用該測試儀測量薄膜厚度,您將需要一個單獨的顯微鏡來測量拋光痕跡的長度完成的事情。
金剛石漿料和球
日本球SUJ2材質(zhì) | φ20mm |
日本球SUJ2材質(zhì) | φ30mm |
金剛石漿料 | 粒徑1.0μm(100cc) |
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