lintec液體質(zhì)量流量控制器原理及產(chǎn)品特點(diǎn)

液體質(zhì)量流量控制器原理

液體質(zhì)量流量控制器是氣體質(zhì)量流量的自動控制儀器，液體質(zhì)量流量計(jì)是測量液體質(zhì)量流量的儀器新趨勢。

質(zhì)量流量控制器利用熱容量和流量控制閥的PID控制可能性更大，通過質(zhì)量流量測量原理調(diào)節(jié)開度，自動控制質(zhì)量流量新體系。

液體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn) 【林泰克】

LINTEC的液體質(zhì)量流量（質(zhì)量流量控制）是液體質(zhì)量流量控制的先驅(qū)使命責任，它是為響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)對TEOS等液體汽化供應(yīng)技術(shù)的需求而在開發(fā)的。

液體質(zhì)量流量控制

液體的流量測量包括體積流量和流速測量搖籃，從精度和穩(wěn)定性的角度來看持續創新，具有微小流量的液體質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量控制）已成為半導(dǎo)體成膜過程中不可缺的技術(shù)。

高精度

在半導(dǎo)體制造過程中使用，在價(jià)格和處理能力上優(yōu)于氣體的TEOS等液體源被蒸發(fā)并沉積薄膜分析。 在制造工藝方面，供應(yīng)量很大不難發現，許多最新的原材料都是低蒸氣壓的材料合規意識。 在傳統(tǒng)的燃?xì)釳FC焙燒方法中，供應(yīng)量和耐熱溫度是瓶頸推動，因此需要溫度約束少且供應(yīng)量大的直接汽化方法協調機製。 但是，在直接汽化方法中高效利用，反應(yīng)氣體的流速控制在液相中體驗區，因此小誤差會極大地影響反應(yīng)。

以H 2 O為例品質，當(dāng)1ml液相在理想狀態(tài)下汽化時(shí)提供了遵循，膨脹到1，244ml能運用。 它已成為半導(dǎo)體制造設(shè)備不可缺的技術(shù)利用好，當(dāng)需要對微小流量進(jìn)行高精度流量控制時(shí)，它控制液體流速并汽化和反應(yīng)講理論。

穩(wěn)定性

1 ml/min 或更低的流量控制裝置包括計(jì)量泵有望，但計(jì)量泵連續(xù)執(zhí)行機(jī)械開關(guān)操作，這會導(dǎo)致脈動解決問題。 沒有機(jī)械開關(guān)的注射泵不會脈動服務效率，但泵的體積有限，因此不適合連續(xù)進(jìn)料導向作用。

此外蓬勃發展，當(dāng)將液體引入具有受控流量的真空裝置時(shí)作用，由于計(jì)量泵的壓差，流量無法穩(wěn)定問題。

液體質(zhì)量流量控制器的流量控制是將加壓到恒定壓力的液體如氣體引入液體質(zhì)量流量控制器中應用的選擇，用內(nèi)部流量傳感器檢測瞬時(shí)流量，并不斷控制閥門開度，使流量無論二次側(cè)減壓還是大氣壓都能控制在恒定水平逐漸顯現。

液體質(zhì)量流量相關(guān)產(chǎn)品

液體質(zhì)量流量計(jì)

高性能液體質(zhì)量流量計(jì)

特點(diǎn)：微流液體測量，PID控制信號（帶汽化器和CV設(shè)置）重要性，金屬密封著力增加，清潔

可選：高溫

液體質(zhì)量流量控制器

高性能液體質(zhì)量流量控制器

特點(diǎn)：微流液體控制，金屬密封緊密相關，清潔

科里奧利液體質(zhì)量流量控制器

長處：無需 C.F.大幅增加，高流量液體控制，清潔

質(zhì)量流量控制器技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)品

液體控制閥 [CV-1000]

特點(diǎn)：比例電磁閥重要組成部分，金屬密封服務延伸，清潔