lintec液體質(zhì)量流量控制器原理及產(chǎn)品特點

液體質(zhì)量流量控制器原理

液體質(zhì)量流量控制器是氣體質(zhì)量流量的自動控制儀器品質，液體質(zhì)量流量計是測量液體質(zhì)量流量的儀器提供了遵循。

質(zhì)量流量控制器利用熱容量和流量控制閥的PID控制，通過質(zhì)量流量測量原理調(diào)節(jié)開度能運用，自動控制質(zhì)量流量利用好。

液體質(zhì)量流量控制器特點 【林泰克】

LINTEC的液體質(zhì)量流量（質(zhì)量流量控制）是液體質(zhì)量流量控制的先驅(qū)，它是為響應半導體行業(yè)對TEOS等液體汽化供應技術的需求而在開發(fā)的講理論。

液體質(zhì)量流量控制

液體的流量測量包括體積流量和流速測量有望，從精度和穩(wěn)定性的角度來看，具有微小流量的液體質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量控制）已成為半導體成膜過程中不可缺的技術解決問題。

高精度

在半導體制造過程中服務效率，在價格和處理能力上優(yōu)于氣體的TEOS等液體源被蒸發(fā)并沉積薄膜。 在制造工藝方面導向作用，供應量很大蓬勃發展，許多最新的原材料都是低蒸氣壓的材料。 在傳統(tǒng)的燃氣MFC焙燒方法中重要意義，供應量和耐熱溫度是瓶頸問題，因此需要溫度約束少且供應量大的直接汽化方法。 但是效率，在直接汽化方法中，反應氣體的流速控制在液相中，因此小誤差會極大地影響反應堅持好。

以H 2 O為例開放要求，當1ml液相在理想狀態(tài)下汽化時，膨脹到1構建，244ml。 它已成為半導體制造設備不可缺的技術，當需要對微小流量進行高精度流量控制時平臺建設，它控制液體流速并汽化和反應重要組成部分。

穩(wěn)定性

1 ml/min 或更低的流量控制裝置包括計量泵，但計量泵連續(xù)執(zhí)行機械開關操作先進技術，這會導致脈動關註點。 沒有機械開關的注射泵不會脈動，但泵的體積有限進入當下，因此不適合連續(xù)進料建強保護。

此外，當將液體引入具有受控流量的真空裝置時首次，由于計量泵的壓差流動性，流量無法穩(wěn)定。

液體質(zhì)量流量控制器的流量控制是將加壓到恒定壓力的液體如氣體引入液體質(zhì)量流量控制器中生產效率，用內(nèi)部流量傳感器檢測瞬時流量反應能力，并不斷控制閥門開度，使流量無論二次側(cè)減壓還是大氣壓都能控制在恒定水平競爭激烈。

液體質(zhì)量流量相關產(chǎn)品

液體質(zhì)量流量計

高性能液體質(zhì)量流量計

特點：微流液體測量投入力度，PID控制信號（帶汽化器和CV設置），金屬密封學習，清潔

可選：高溫

液體質(zhì)量流量控制器

高性能液體質(zhì)量流量控制器

特點：微流液體控制技術，金屬密封，清潔

科里奧利液體質(zhì)量流量控制器

長處：無需 C.F.，高流量液體控制有所提升，清潔

質(zhì)量流量控制器技術應用產(chǎn)品

液體控制閥 [CV-1000]

特點：比例電磁閥，金屬密封參與能力，清潔