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18922517093n-seisen半導體氣體過濾器介紹
NASclean®是由微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜過濾器確定性。 通過從過濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，我們?yōu)榘雽w去完善、平板顯示器意料之外、太陽能電池板等生產(chǎn)過程中使用的氣體的過濾做出貢獻。
這是世界上使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器上高質量。
低壓降和高顆粒性能精準調控。
適用于100 SLM或更低的流量，可用于各種工藝氣體建設應用。
過濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流速下也能實現(xiàn)低壓降優化程度。
高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的應用的因素之一。
3000牛米3支持高達 /hr 的高流速基礎。
用于保護 MFC、閥門實踐者、調(diào)節(jié)器和其他設備的過濾器管理。
根據(jù)使用條件，可以選擇低壓型和高壓型豐富。
可與現(xiàn)有管道一起安裝。
集成氣體面板過濾器，兼容 1.125W 密封善於監督、1.125C 密封和 1.5W 密封大局。
通過采用褶皺介質(zhì)實現(xiàn)緊湊的尺寸。
機械密封用于在介質(zhì)部分創(chuàng)建無焊接結構數據。
褶皺介質(zhì)可實現(xiàn)高速排氣效率和安。
防止顆粒纏繞，有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
可根據(jù)安裝空間進行設計產能提升。
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