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STIL 模塊化光學(xué)筆“DUO"原理分析
實現(xiàn)更精確的表面形狀測量深入各系統。 更寬的測量范圍 除了先前型號中使用的
測量方法(“共聚焦色度模式")外大型,還安裝了新的“干涉測量模式"。 現(xiàn)在可以支持更精確的表面輪廓測量進一步推進。 兩種模式都可以根據(jù)所需的測量精度使用不可缺少,從而擴(kuò)大了應(yīng)用范圍。
雙拿鞔_相關要求?刂破?/p>
控制器可用于共聚焦色度模式和干涉測量模式服務為一體。 與以前的型號一樣,系統(tǒng)配置易于使用且簡單特點,只需根據(jù)所需的測量精度更換筆式模塊即可融合。
光源發(fā)出的光會反射在測量對象、參考板和參考平面上相結合。 此時提升,兩個反射光之間存在光程差。 如圖所示相關性,如果將參考板插入待測物體的前面并盡可能靠近競爭力,使光程差進(jìn)入干涉距離,則兩個反射光之間會發(fā)生干涉的必然要求。 由于這種干涉的光譜強(qiáng)度是由波長調(diào)制的的過程中,因此可以通過軸向顏色校正光學(xué)筆進(jìn)行測量和分析,以實現(xiàn)更精確的厚度測量狀況。