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yokohamarika半導(dǎo)體制造設(shè)備的優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體制造設(shè)備 | 光刻膠順滑地配合、顯影劑、沖洗液薄弱點、蝕刻劑上高質量、去除劑、清洗液、抗蝕劑去除劑 |
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產(chǎn)品概覽
有效去除半導(dǎo)體制造過程中使用的化學(xué)品和溶劑中的氣泡和溶解氣體建設應用。
去除光刻膠優化程度、顯影劑、沖洗液實現、蝕刻劑、去除劑舉行、清洗液、抗蝕劑剝離液等化學(xué)溶液中的氣泡和溶解氣體。
通過去除它習慣，可以預(yù)期產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性和成品率提高等效果記得牢。
有效去除氣泡和溶解氣體，這對(duì)于控制化學(xué)品和溶劑的濃度和體積是*覆蓋，可以實(shí)現(xiàn)精確的化學(xué)品控制服務體系。
它環(huán)保且成本低。
?消除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的問題氣泡重要的作用，穩(wěn)定質(zhì)量特點，提高成品率，防止故障搶抓機遇。
? 有效去除阻礙化學(xué)品和溶劑濃度和體積控制的氣泡和溶解氣體綠色化發展。
低價(jià)格——氟脫氣模塊（化學(xué)品/溶劑用）是高性能低價(jià)格的脫氣模塊。
與傳統(tǒng)氟基（PTFE）脫氣模塊相比結論，產(chǎn)品性能提升應用創新，價(jià)格降低40%。
該產(chǎn)品價(jià)格低廉足夠的實力，非常適合正在考慮脫氣設(shè)備的客戶和諧共生。
產(chǎn)品特點(diǎn)
與傳統(tǒng)的PTFE（氟基）脫氣模塊相比，產(chǎn)品性能得到提升全面闡釋，價(jià)格大幅降低用上了。
PTFE（氟系）等助劑無溶出，不易附著污垢的PFA全部用于接液部適應性強，適用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域生產製造。
您可以放心使用。
脫氣效率高綜合措施，對(duì)流量的依賴性小多元化服務體系，因此即使增加流量，脫氣能力也不會(huì)明顯下降攜手共進。
氟樹脂膜概要
耐化學(xué)性：耐大多數(shù)化學(xué)品和溶劑實力增強，氟基化學(xué)品和溶劑除外。
耐沾污：污漬不易附著，即使附著也可輕松去除供給。
非洗脫：不洗脫金屬離子等雜質(zhì)全過程。通常，氟基樹脂膜（PTFE）在加工過程中會(huì)添加助劑積極參與。
產(chǎn)品有助劑浸出優勢領先，但含氟脫氣模塊不使用助劑，干凈探討。
產(chǎn)品陣容
我 莫 通過并聯(lián) MF1000-2調解製度，可以處理 1000ml/min 以上的流量深入。
最大流量 通大氣飽和水溶解氧去除率80%以上時(shí)，最大流量50%以上覆蓋範圍，水溫25℃設備製造，真空度12kPa（約90torr）
內(nèi)部能力 內(nèi)部體積包括脫氣模塊內(nèi)的氣體分離膜、管道和接頭
薩 胃 Z 外形尺寸（不包括突出部分）
評(píng)價(jià)
使用該脫氣模塊時(shí)高質量發展，需要滿足以下條件之一資源配置。
?真空泵或真空管線
?帶真空控制功能的真空泵
