什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置傳遞？

它是一種使用高性能和極小的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）壓力傳感器來確定壓力變化（壓差）是否存在泄漏的裝置讓人糾結。

（MEMS：將機(jī)械元件、傳感器發揮效力、電子電路等集成在單一基板上的裝置全面革新，利用MEMS壓力傳感器的特性來測量壓力變化。）

CW設(shè)備概覽

CW的特點是通過測量被檢產(chǎn)品外部密封空間（測量空間）的壓力變化來判斷產(chǎn)品有無泄漏穩定發展，如下圖所示方便。

待測的測量空間體積應(yīng)盡可能小，以增加對壓力變化的敏感度更好。

為了靈活處理不同形狀的產(chǎn)品基石之一，測量空間采用硅橡膠并覆蓋。

設(shè)備主要部件

　　　*產(chǎn)品被硅橡膠覆蓋和密封的測量部分

　　　*真空泵

　　　*真空罐（穩(wěn)壓罐）

　　　*壓力調(diào)節(jié)閥等

　　　*MEMS壓力傳感器和測量CPU

　　　*電腦及應(yīng)用軟件

MEMS壓力傳感器板

設(shè)備特點

　　　?通過使用硅橡膠安全鏈，可以靈活適應(yīng)被檢產(chǎn)品的形狀行業分類。

　　　　將難以檢驗的產(chǎn)品檢驗準(zhǔn)確率提高*。

　　　≡龀帜芰?。ㄐ⌒蛯ο螽a(chǎn)品應用領域、化學(xué)容器、食品包裝等）

　　　?適用于含有液體的檢查對象產(chǎn)品提高鍛煉。您可以更改產(chǎn)品的方向統籌推進。

　　　?壓力傳感器非常小（2mmx2mm）新模式。設(shè)備設(shè)計自由度高重要作用。

　　　?分辨率：0.025Pa 絕對精度：±0.5hPa高質量，相對精度±0.025hPa