超小型金屬鍍膜設(shè)備MSP MINI的特點(diǎn)

一鍵自動(dòng)鍍膜創新的技術。沒(méi)有麻煩的操作。高性價(jià)比機(jī)器更合理。它是MSP-1S的弟弟有序推進。
使用小目標(biāo)（φ30mm）。實(shí)現(xiàn)低運(yùn)行成本改進措施。Au 靶材作為標(biāo)準(zhǔn)配置範圍。展示了其在臺(tái)式掃描電鏡預(yù)處理方面的能力效果。
可選的靶Ag膜具有優(yōu)異的光澤度發展的關鍵，便于光學(xué)顯微鏡觀察透明材料表面。
概述
本設(shè)備是一種帶有磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。用光學(xué)顯微鏡觀察透明材料的表面（Ag 靶材）或用電子顯微鏡（Au/Ag 靶材）將導(dǎo)電膜應(yīng)用于少量樣品時(shí)使用系統穩定性。

特點(diǎn)

★MSP-mini是桌上SEM觀察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置背景下。

★為了將小面積的試樣涂布時(shí)的浪費(fèi)最小化，小面積靶（φ30mm）科技實力。

★樣品臺(tái)是直接放置滑動(dòng)玻璃的平面樣品臺(tái)開展試點。

★低電壓涂層，即使是敏感的樣品也幾乎沒(méi)有樣品損傷可靠保障。

★用1個(gè)按鈕全自動(dòng)進(jìn)行排氣規劃、涂層、泄漏共同。

★目標(biāo)金屬是金（Au）標(biāo)準(zhǔn)發展。可選的銀在此基礎上。

★排氣系統(tǒng)采用外置RP5升/min推進一步。

★使用輔助試料臺(tái)（可選），可提高涂布率開展，提高效率可以成膜帶動擴大。