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紅外光非接觸式測厚儀的檢測優(yōu)勢

發(fā)布時間:2022-08-01 點擊量:1510

紅外光非接觸式測厚儀的檢測優(yōu)勢

紅外線可以穿過某些物質。
這是一種利用此特性在不接觸的情況下測量特定材料厚度的技術預判。

由于電子設備中使用的硅、藍寶石、水晶和其他化合物的表面都經(jīng)過高精度拋光,因此不能使用基于接觸的厚度測量深入,因為它會劃傷它們形式。
此外,由于材料會變形一站式服務,因此無法通過接觸法準確測量橡膠功能、薄膜、軟樹脂等的厚度支撐作用。

激光和電容是非接觸式厚度測量的常用方法積極性,但這些是位移計,不能測量絕對值解決。我們的紅外光法可以測量絕對值性能。

 

紅外光測厚原理

當紅外光投射到工件上時,它首先被表面反射不斷豐富。
此外方案,紅外光透過工件內部并在背面反射。
正反兩面反射的光被光學探頭接收同時,利用正反兩面反射光的時間差作為光干涉差來測量厚度實施體系。

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允許對多層進行單獨的厚度測量

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基于此原理,在如上圖所示的多層工件的情況下集成技術,可以從各個反射光的干涉差來測量單個厚度新創新即將到來。

 

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以上是PC上顯示反射光干涉狀態(tài)的界面。
從波形的左邊看深刻變革,它變成了R1到R4的干擾波高效。每個干涉差(Peak to Peak)是每一層的厚度。

 

 

絕對值測量的*性

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《相對值測量》

位移計是一種相對值測量至關重要,它測量距離的差異作為厚度質量。因此,必須準備一個參考平面(零點)表示。
此外不久前,如果到參考表面的距離 (Gs) 不是恒定的,則會出現(xiàn)錯誤質生產力。如果無法維持或隨時間變化機構,則每次執(zhí)行測量時都需要進行零點復位。

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《絕對值測量》

紅外光測量是通過前后表面反射光的干涉差獲得的提升行動,因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測量絕對厚度更適合。
即使到工件的距離(Ga)有一定波動,如果范圍小于最大測量厚度(約4mm)-工件厚度(t)交流,測量值和精度不會受到影響引人註目。

  
測量距離的*性
為了用位移計達到0.1μm的精度關註,傳感器頭到工件的距離一般必須在10mm以下。
采用這種紅外光法拓展,測量距離可任意設置提供堅實支撐,最大可達1000mm左右,可保持0.1μm的測量精度。



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