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紅外光非接觸式測厚儀的檢測優(yōu)勢

發(fā)布時(shí)間:2022-08-01 點(diǎn)擊量:1376

紅外光非接觸式測厚儀的檢測優(yōu)勢

紅外線可以穿過某些物質(zhì)。
這是一種利用此特性在不接觸的情況下測量特定材料厚度的技術(shù)。

由于電子設(shè)備中使用的硅調解製度、藍(lán)寶石深入、水晶和其他化合物的表面都經(jīng)過高精度拋光,因此不能使用基于接觸的厚度測量覆蓋範圍,因?yàn)樗鼤?huì)劃傷它們一站式服務。
此外,由于材料會(huì)變形高質量發展,因此無法通過接觸法準(zhǔn)確測量橡膠資源配置、薄膜、軟樹脂等的厚度攻堅克難。

激光和電容是非接觸式厚度測量的常用方法,但這些是位移計(jì),不能測量絕對值保護好。我們的紅外光法可以測量絕對值能力和水平。

 

紅外光測厚原理

當(dāng)紅外光投射到工件上時(shí),它首先被表面反射充足。
此外註入了新的力量,紅外光透過工件內(nèi)部并在背面反射。
正反兩面反射的光被光學(xué)探頭接收異常狀況,利用正反兩面反射光的時(shí)間差作為光干涉差來測量厚度說服力。

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允許對多層進(jìn)行單獨(dú)的厚度測量

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基于此原理,在如上圖所示的多層工件的情況下,可以從各個(gè)反射光的干涉差來測量單個(gè)厚度深刻變革。

 

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以上是PC上顯示反射光干涉狀態(tài)的界面高效。
從波形的左邊看,它變成了R1到R4的干擾波至關重要。每個(gè)干涉差(Peak to Peak)是每一層的厚度質量。

 

 

絕對值測量的*性

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《相對值測量》

位移計(jì)是一種相對值測量,它測量距離的差異作為厚度表示。因此不久前,必須準(zhǔn)備一個(gè)參考平面(零點(diǎn))。
此外質生產力,如果到參考表面的距離 (Gs) 不是恒定的機構,則會(huì)出現(xiàn)錯(cuò)誤。如果無法維持或隨時(shí)間變化背景下,則每次執(zhí)行測量時(shí)都需要進(jìn)行零點(diǎn)復(fù)位多種場景。

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《絕對值測量》

紅外光測量是通過前后表面反射光的干涉差獲得的,因此只需將工件放在傳感器頭下方即可測量絕對厚度開展試點。
即使到工件的距離(Ga)有一定波動(dòng),如果范圍小于最大測量厚度(約4mm)-工件厚度(t)可靠保障,測量值和精度不會(huì)受到影響規劃。

  
測量距離的*性
為了用位移計(jì)達(dá)到0.1μm的精度,傳感器頭到工件的距離一般必須在10mm以下共同。
采用這種紅外光法發展,測量距離可任意設(shè)置,最大可達(dá)1000mm左右發力,可保持0.1μm的測量精度優勢與挑戰。



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