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日本ata Gimble 多涂機(jī) AT-903涂層示例分析

發(fā)布時(shí)間:2022-04-12 點(diǎn)擊量:1053

日本ata Gimble 多涂機(jī) AT-903涂層示例分析


涂層示例

◆ 萬(wàn)向節(jié)效果

在萬(wàn)向機(jī)操作下相對開放,在凹凸不平的樣品表面涂上一層均勻的薄膜
(見(jiàn)下圖,濾紙表面SEM照片)綜合運用。

放大倍率 x 50,000 倍

云臺(tái)運(yùn)動(dòng)視頻


◆ 與其他公司的顆粒性能比較(樣品:載玻片放大倍數(shù):×100,000)

(其他公司)

(ATA)

◆ 涂膜顆粒度差異示例(AFM 圖像)

膜厚 10nm 玻璃基板鍍鉻膜

膜厚 9nm 玻璃基板上的鉑膜

可以看出臺上與臺下,Cr非晶膜和鉑再結(jié)晶膜形成良好。



??頭型(可選)

1頭型

2頭型

??清潔(可選)

清潔機(jī)制

特征

全向擺動(dòng)(萬(wàn)向運(yùn)動(dòng))載物臺(tái)使涂層具有良好的環(huán)繞性。
*干燥的排氣可防止樣品污染(渦輪分子泵+隔膜泵)
Cr效高性、ITO、Cu技術發展、Ni重要的作用、Pt、Au自動化、Mo重要的意義、W 等。目標(biāo)類(lèi)型可以是used
特殊的快門(mén)功能可抑制對(duì)樣品的熱損傷規模最大。
可以選擇 1 或 2 頭的數(shù)量關註度。

<選項(xiàng)>

等離子清洗(主機(jī)選件)可去除有機(jī)異物并進(jìn)行表面親水化處理,
碳涂層附件(選件)可用于形成碳膜(目前正在建設(shè)中)重要手段。


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