小孔圓度測量分析案例
這是將前端直徑為 φ0.5 mm 的球測針 (SA-166) 插入內徑為 φ0.7 mm 的管狀工件中進行圓度測量的 結果。
通過使用 SA-158估算，可以測量φ0.5 mm的內徑活動上。
| 最小測量孔徑 | φ10微米~ |
|---|---|
| 最大測量長度 | 300 x 300 x 300 微米 |
| 測量分辨率 | 10nm |
| 測量功率 | 0.1 μN或更小 |
| 運動軸 st. (X, Y, Z) | 50 x 50 x 52 毫米 |
| 最大樣本量 | φ160mm t = 50mm |
| 最小測量孔徑 | φ10微米~ |
|---|---|
| 最大測量長度 | 300 x 300 x 300 微米 |
| 測量分辨率 | 10nm |
| 測量功率 | 0.1 μN或更小 |
| 運動軸 st. (X, Y, Z) | 305 x 370 x 52 毫米 |
| 最大樣本量 | φ300mm t = 50mm |
