用于半導體硅片厚度檢測設(shè)備-非接觸式測厚儀 OZUMA22

<使用>

半導體用晶圓（各種材料） 硅Si.GaAs 砷化鎵等大數據，玻璃前景、金屬、化合物等的高精度非接觸式測厚（非接觸式測厚）

<特點>

1. 1. 通過空氣背壓法可以進行非接觸式測厚（非接觸式測厚），不會造成劃痕和污染等損壞
落實落細。不依賴于薄膜和顏色光澤等材料，可以輕松進行高精度的非接觸式厚度測量（非接觸式厚度測量）
組成部分。在潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量（非接觸式厚度測量）
。即使是鏡面透明或半透明集聚，也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量（非接觸式厚度測量）
高效化。由于采用上下測量噴嘴進行測量，因此
　 　可以準確測量“厚度”新的動力，而不受被測物體“滑行”引起的抬升的影響完成的事情。
　　（“雪橇”測量也可以作為選項（* 1））
6. 由于操作簡單為產業發展，因此可以非常輕松地進行測量和校準（* 2）研究成果。

<測量原理>

精確控制上、下測量噴嘴的背壓穩定，噴嘴定位使噴嘴與被測物體之間的間隙恒定機製性梗阻，并與預先用基準規(guī)校準的值進行比較計算處理對被測物體進行測量操作，可精確確定厚度廣泛關註。

測量原理圖

<性能>

　　分辨率 0.1 μm
　　重復精度 10 次重復 連續(xù)測量時的標準偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
　　測量范圍 max. 10mm (* 3)
　　供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
　　　　　　　　　　　 潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)

<基本配置>
標準的非接觸式測厚儀（非接觸式測厚儀）是一組以下設(shè)備改造層面。
(1) 非接觸式測厚儀（非接觸式測厚儀）主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
②測量臺（安裝臺） ? ? ? ? 從附接“表型”的選擇·
········1組③控制箱（分離型）············1個
④手操作開關(guān)BOX········ · · · · · · 1套

⑤ 顯示器（7"彩色液晶觸摸屏）或用于測量控制的個人電腦???????????1套
⑥連接電纜??????????????????? ? ? 1 套
⑦ 校準規(guī)（規(guī)定厚度） ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個
⑧ 測量控制的標準軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ?
除上述以外，還可以根據(jù)用途從“Option list”中選擇可選產(chǎn)品各項要求〈竺娣e！?/span>

（筆記）

* 1 根據(jù)翹曲的程度和工件的剛性發力，可能無法測量翹曲　
　　　　。詳情請聯(lián)系我們集成應用。
* 2 校準時越來越重要的位置，也可以使用市售的塊規(guī)。
* 3 測量范圍最大標準機迎來新的篇章。雖然是0.10mm解決方案，但也可以選擇10mm以上
　　　　（但是學習，測量工作范圍為10mm）
*4 清潔空氣從測量噴嘴直接吹到被測物體上技術，所以要注意空氣質(zhì)量。
　　 　測量壓力為15至20 KPa改革創新。