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日本tekhne SF6氣體純度露點儀MBW973-SF6產(chǎn)品技術(shù)

發(fā)布時間:2020-12-14 點擊量:1195

日本tekhne SF6氣體純度露點儀MBW973-SF6

 

特征

  • 抽查 
  • SF6氣體露點管理
  • 氣體變壓器/氣體斷路器
  • 氣體絕緣開關(guān)
  • 半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
  • SF6氣體回收與再循環(huán)

主要用途

  • SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點測量

環(huán)保測量儀

SF6(六氟化硫)氣體是一種溫室氣體推動並實現,其減排目標(biāo)是由《京都議定書》設(shè)定的,據(jù)說其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的23,400倍順滑地配合。SF6氣體在斷路器/變壓器和半導(dǎo)體工藝中用作絕緣氣體更加完善,因此必須測量水分和SF6純度以保持其絕緣性。
另一方面上高質量,到目前為止精準調控,在日本,測量時通常將其釋放到大氣中建設應用,或者不釋放而以高成本進(jìn)行收集和分解優化程度。通過使用MBW973-SF6廣度和深度,可以將測得的SF6氣體返回到原始設(shè)備而不會釋放到大氣中,并且可以將向大氣中的釋放減少到零基礎。

高精度測量

迄今為止日漸深入,由于電容類型易于獲取,因此通常被使用引領作用。另一方面預期,MBW973-SF6的露點和純度測量均采用高精度鏡型,因此可以分別以±0.5°C和0.5%的精度進(jìn)行高精度測量,響應(yīng)速度快合理需求,隨時間的推移幾乎沒有劣化。是基本情況。通過使用該裝置先進水平,可以大大減少操作者的工作時間,并且可以容易地進(jìn)行可靠的測量充分發揮。

SO 2測量選項

SF6氣體通過與水反應(yīng)來凈化HF氣體和SO 2氣體共享。MBW973-SF6可以測量0至100ppm或0至500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池去創新,可以滿量程±2%的精度進(jìn)行測量結論。

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