日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測設(shè)備
產(chǎn)品型號：
所屬分類：物理性能檢測儀
產(chǎn)品時間：2025-05-03
簡要描述：日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測設(shè)備可以高速且高精度地檢查在晶片工藝和切割工藝中出現(xiàn)的外觀缺陷等多個領域。可以檢查各種圖案的芯片聽得懂。對于每種產(chǎn)品類型，可以使用可變的圖像分辨率（1.5至5 µ）進(jìn)行檢查。
詳細(xì)說明：
日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測設(shè)備
晶圓或切塊后高速檢查芯片外觀
- 可以高速且高精度地檢查在晶片工藝和切割工藝中出現(xiàn)的外觀缺陷生產能力。
- 可以檢查各種圖案的芯片智慧與合力。
- 對于每種產(chǎn)品類型，可以使用可變的圖像分辨率（1.5至5 µ）進(jìn)行檢查可持續。
- 可以使用嵌入式顯微鏡以亞微米分辨率進(jìn)行檢查措施。（選項）
- 可以根據(jù)圖像特征的復(fù)雜條件對缺陷進(jìn)行分類。
- 一次可以使用多種配方（不同的圖像分辨率情況，照明，判斷程序）進(jìn)行檢查。
- 配備由自動裝載機連續(xù)提供的高速NG排屑機構(gòu)堅持好。
- 即使厚度公差為150 µm的工件也可以檢查并消除開放要求。（具有高速高度測量和高度校正功能）
- 有一個檢查功能，用于排除所有錯誤和標(biāo)記錯誤構建。（選項）
- 可以通過紙張進(jìn)行背面檢查緊密相關。（選項）
- NG標(biāo)記（墨/激光標(biāo)記），條形碼可以自動讀取。（選項）
- 還有HS-256G重要組成部分，它是一種低價類型服務延伸，沒有自動裝帶器或排除機制。
檢查對象
- 半導(dǎo)體芯片傳承，例如LED芯片和激光芯片（芯片尺寸：100 µm?貢獻力量，與各種圖案兼容）
- 晶圓尺寸：2到8英寸（在大210毫米的檢查范圍內(nèi)）
- 兼容各種戒指和錄音帶
檢查項目
劃片不良（寬度/碎裂）?電極尺寸（突出/碎裂/多余
/不足的區(qū)域） ·電極劃痕/污垢·變色·各個部分劃痕/污垢
日本hu-brain圓晶/芯片外觀品質(zhì)檢測設(shè)備
特點
- 由于工件在XY工作臺上移動并且在一個視場中檢查了多個切屑，因此可以執(zhí)行有效的檢查具有重要意義。
- 檢查判斷使用二進(jìn)制特征（長度前景，面積，周長有力扭轉，凸度調解製度，蓬松度等）和灰色特征（每個通道的亮度深入，偏差形式，范圍等），并使用多個條件表達(dá)式對缺陷項進(jìn)行分類一站式服務。
- 與用于分類器的MAP文件一起功能，輸出顯示每個缺陷項目的判斷結(jié)果的文件。
- 您可以在檢查時保存圖像凝聚力量。
處理能力
- 目視檢查時間：分辨率為2.5 µ /配方時（使用2英寸晶圓時）約為1.5到4分鐘
- 消除時間：3到6芯片/秒（取決于芯片尺寸關鍵技術，紙張類型和條件等條件）
- 標(biāo)記時間：墨輪打碼時間為3-4芯片/秒，
激光打標(biāo)機為10芯片/秒（某些芯片不適用于激光打標(biāo)機）
