日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

產(chǎn)品型號：

所屬分類：位移計

產(chǎn)品時間：2025-05-03

簡要描述：日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無源型"估算，探頭中沒有內(nèi)置電路醒悟。因此支撐作用，穩(wěn)定性大大提高空間廣闊。此外，由于沒有電路部件效率，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu)。
它是納米位移測量，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制十大行動，平面度和厚度測量的理想選擇重要性。

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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型”，探頭中沒有內(nèi)置電路構建。因此緊密相關，穩(wěn)定性大大提高。此外平臺建設，由于沒有電路部件重要組成部分，因此緊湊且具有用于結(jié)合的z佳結(jié)構(gòu)。
它是納米位移測量先進技術，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制傳承，平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃合作。
您可以看到已經(jīng)進行了12小時的長時間穩(wěn)定測量具有重要意義。

實現(xiàn)高分辨率測量

大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅(qū)動的壓電元件的位移。
即使只有1 nm的小步進信號，也可以很好地檢查響應(yīng)勃勃生機。

• 1nm步進
  波形：頻率0.15Hz步進寬度1nm。
  頻段設(shè)定：100Hz

優(yōu)異的線性度0.05％

通過使用不需要線性化器的測量方法宣講手段，可以實現(xiàn)出色的線性度多種。

• 
  較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內(nèi)置電路，因此尺寸已大大減小極致用戶體驗。
  這大大擴展了結(jié)合到測量系統(tǒng)中的自由度強大的功能。
• 使用的連接電纜，可以
  在通道之間進行同步操作學習。即使使用多臺設(shè)備技術，也可以通過連接通道進行同步操作改善。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結(jié)果。
• 您可以減少系統(tǒng)構(gòu)建的成本結構重塑。
  當(dāng)使用多個通道時推廣開來，只有通過按需供電才可以擴展，因此可以降低系統(tǒng)構(gòu)建成本法治力量。

可以在真空中進行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭長期間，可以測量真空中的位移新的力量。

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應(yīng)用領(lǐng)域

• 精密定位技術研究，位置檢測，半導(dǎo)體的姿態(tài)控制分享，精密處理現場，顯微鏡等
• 壓電元件的振動和振幅測量等
• 硅片，金屬板開展研究，精密加工零件等的平面度和厚度測量
• 測量軸跳動高質量，表面跳動和精密電機的圓度等
• 納米位移測量