日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

產(chǎn)品型號：

所屬分類：位移計

產(chǎn)品時間：2025-05-03

簡要描述：日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541
ST-3541采用“無源型"，探頭中沒有內(nèi)置電路流程。因此共創輝煌，穩(wěn)定性大大提高。此外等特點，由于沒有電路部件推動並實現，因此緊湊且具有用于結合的z佳結構。
它是納米位移測量顯示，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇的有效手段。

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日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

ST-3541采用“無源型”共同努力，探頭中沒有內(nèi)置電路。因此真正做到，穩(wěn)定性大大提高發展邏輯。此外方案，由于沒有電路部件，因此緊湊且具有用于結合的z佳結構發展機遇。
它是納米位移測量創新延展，精密工作臺位置檢測/姿態(tài)控制，平面度和厚度測量的理想選擇。

特征

出色的高穩(wěn)定性

下圖是在25測量在恒溫浴組穩(wěn)定性的一例℃長效機製。
您可以看到已經(jīng)進行了12小時的長時間穩(wěn)定測量。

實現(xiàn)高分辨率測量

大分辨率0.3nm-rms下
圖顯示了由步進電信號驅動的壓電元件的位移聽得進。
即使只有1 nm的小步進信號深入，也可以很好地檢查響應。

• 1nm步進
  波形：頻率0.15Hz步進寬度1nm全技術方案。
  頻段設定：100Hz

優(yōu)異的線性度0.05％

通過使用不需要線性化器的測量方法基本情況，可以實現(xiàn)出色的線性度。

• 
  較小的探頭使安裝更容易由于探頭主體沒有內(nèi)置電路重要的，因此尺寸已大大減小充分發揮。
  這大大擴展了結合到測量系統(tǒng)中的自由度。
• 使用的連接電纜高端化，可以
  在通道之間進行同步操作全面展示。即使使用多臺設備，也可以通過連接通道進行同步操作應用創新。同步操作可防止通道之間的干擾并穩(wěn)定測量結果體系。
• 您可以減少系統(tǒng)構建的成本。
  當使用多個通道時和諧共生，只有通過按需供電才可以擴展提高，因此可以降低系統(tǒng)構建成本。

可以在真空中進行測量

通過使用與真空兼容的定制探頭用上了，可以測量真空中的位移結構。

日本電子技研iwatsu電容式位移計ST-3541

應用領域

• 精密定位，位置檢測規定，半導體的姿態(tài)控制可持續，精密處理，顯微鏡等
• 壓電元件的振動和振幅測量等
• 硅片示範推廣，金屬板情況，精密加工零件等的平面度和厚度測量
• 測量軸跳動，表面跳動和精密電機的圓度等
• 納米位移測量