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日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導率

日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導率

產品型號: TM3

所屬分類:

產品時間:2025-08-03

簡要描述:日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導率TM3
熱物理性質顯微鏡是一種測量熱導率的裝置緊迫性,熱導率是熱物理性質值之一結構。
它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設備高效。
也可以測量微米級的熱物理性質值的分布溝通協調,這在常規(guī)熱物理性質測量設備中被認為是困難的。

詳細說明:

日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導率TM3

特征

  • 熱物理性質顯微鏡是一種測量熱導率的裝置體系,熱導率是熱物理性質值之一保障性。
  • 它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設備責任製。
  • 也可以測量微米級的熱物理性質值的分布十分落實,這在常規(guī)熱物理性質測量設備中被認為是困難的。
  • 它是*yi款能夠進行非接觸式高分辨率熱性能測量的設備規則製定。
  • 利用檢測到的3μm的光斑直徑製造業,可以在高分辨率的微小區(qū)域中測量熱物理性質(點/線/表面測量)。
  • 由于可以通過改變深度范圍進行測量關規定,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料發展基礎。
  • 您也可以測量基材上的樣品。
  • 激光非接觸式測量安全鏈。
  • 可以檢測薄膜下方的裂縫顯示,空隙和剝離創新為先。

熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

在樣品上形成金屬薄膜真正做到,并用加熱激光器定期加熱科普活動。

  1. 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(熱解法),因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測激光器的反射強度的變化強化意識,來測量表面的相對溫度變化長期間。去做。
  2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品現場,導致表面溫度響應的相位延遲高端化。該相位延遲取決于樣品的熱性質。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱滲透率我有所應。?

日本thermal測量薄膜和微小區(qū)域的熱導率TM3

主要規(guī)格

名稱/產品名稱熱物理顯微鏡/熱顯微鏡
測量方式熱物理性質分布測量(1維提單產,2維,1點)
測量項目熱滲透率至關重要,(熱擴散率)精準調控,(熱導率)
檢測光斑直徑約3μm
1點測量標準時間10秒
待測薄膜厚度幾百納米到幾十微米
重復精度耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10%
樣品1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
2.板狀樣品30mm x 30mm以內應用的因素之一,厚度3mm以內
  • 需要對樣品表面進行鏡面拋光解決。
  • 樣品表面需要進行Mo濺射。
工作溫度極限24°C±1°C(根據(jù)設備中內置的溫度傳感器)
平臺移動距離? X軸方向20mm
? Y軸方向20mm
? Z軸方向10mm
加熱激光半導體激光波長:808nm
檢測激光半導體激光波長:658nm
電源供應交流100V 1.5kVA
標準配件樣品架敢於監督,參考樣品
選項光學壓盤幅度,空調,空調房重要的作用,飛濺裝置
  • 性能和外觀如有更改貢獻,恕不另行通知。?


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