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日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計

產(chǎn)品型號: FUD-1 Model-13

所屬分類:密度計

產(chǎn)品時間:2025-05-03

簡要描述:日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(如可維護性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導體制造過程的小型單元型振蕩器品率。

詳細說明:

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13

日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢(如可維護性和高精度在線測量)的同時,還具有用于半導體制造過程的小型單元型振蕩器推進高水平。


單組分密度計的特點

可以進行實時濃度測量開展面對面,并且可以輕松構(gòu)建濃度管理系統(tǒng)。

  • 配備模擬DC 4-20mA和數(shù)字RS232C作為標準配置

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標準配置

  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上

  • 由于潤濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計不斷發展,因此對化學藥品沒有影響便利性。?


值得

  • 可以高精度連續(xù)測量

  • 免維護,無需定期調(diào)整/校準

  • 易于安裝非常重要,因為在安裝過程中無需進行任何調(diào)整

  • 通過實時輸出輕松反饋到過程


用途

  • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制

  • 稀釋過程中各種化學濃度的管理(H2O2實事求是,TMAH,HNO3行動力,H2SO4結構,HCl等)

  • 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH落到實處,KOH效果,IPA等)

  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度(HF,H2SO4等)



日本富士工業(yè)fuji在線式單組分密度計FUD-1 Model-13

規(guī)范

格式FUD-1模型13
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD(密度營造一處,溫度生產效率,聲速/各種參數(shù))
輸出信號模擬DC 4-20mA(可自由設(shè)定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度,溫度設計能力,聲速更合理,錯誤代碼)
警報上下限測量錯誤
電源供應AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V)
施工面板安裝類型(符合DIN標準)/板載安裝類型(可以選擇安裝在防雨箱中)
環(huán)境溫度0至50℃RH85%以下(無冷凝)
0至100℃特殊規(guī)格-10至160℃(100℃寬度)
功能輸出范圍設(shè)置,警報輸出設(shè)置發展,濃度顯示移動平均值改進措施,濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能範圍,自診斷功能,故障保護功能發展的關鍵,異常值消除
RS485輸出(不能與RS232C同時輸出)
選項溫度輸出(4-20mA DC)
渠道高達10ch
兼容發(fā)射器型號13 SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5





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