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日本pureron腐蝕性氣體用陶瓷氣體過濾器UCH系列 過濾器的外罩采用哈司特鎳合金®C-22越來越重要,濾芯采用陶瓷逐漸完善。這些材料,對HBr規則製定、HCl等鹵素系反應性腐蝕性氣體有很高的耐腐蝕性舉行,極大的發(fā)揮了出色的性能。
日本pureron微少流量超小型陶瓷氣體過濾器SPC系列 SPC系列是超小型(Φ21×84mm)產能提升、輕量(90g)設計發揮。z適合于安裝在空間狹小的氣瓶柜等裝置的場合。
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列 在保持本公司以往產品PGF系列的高過濾性能的基礎上適應能力,實現(xiàn)了低壓力損失設施。外形尺寸與以往的PGF系列*相同,處理能力達到了原來的約兩倍提高。
日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列 在超微LSI制造工藝中全面闡釋,要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說結構,管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點適應性強。Pureron Japan 為順應這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器競爭力所在,從而實現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度能力建設。
日本kitz PTFE褶式過濾器Unipore工藝清潔T系列 適用于使用PTFE膜的多種化學品 由于已用純水沖洗過,因此可以縮短初始啟動時間先進的解決方案。