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產(chǎn)品型號： F20
所屬分類：測厚儀
產(chǎn)品時間：2025-05-03
簡要描述：日本filmetrics膜厚測量系統(tǒng)F20一種行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)創新延展、低價處理、多功能的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)，已在全球安裝了 5,000 多臺。它可用于從研發(fā)到制造現(xiàn)場在線測量的廣泛應(yīng)用表現明顯更佳。
日本filmetrics膜厚測量系統(tǒng)F20
一種行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、低價優化服務策略、多功能的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)技術先進，已在全球安裝了 5,000 多臺。它可用于從研發(fā)到制造現(xiàn)場在線測量的廣泛應(yīng)用技術節能。
F20基于光學(xué)干涉法可在1秒左右輕松測量透明或半透明薄膜的膜厚提高、折射率和消光系數(shù)。
它還支持多點(diǎn)在線測量延伸，并支持RS-232C和TCP/IP等外部通訊有很大提升空間，因此可以通過PLC或上位機(jī)進(jìn)行控制。
支持廣泛的膜厚范圍（1 nm 至 250 μm）
支持寬波長范圍（190nm 至 1700nm）
強(qiáng)大的膜厚分析
光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）
緊湊的外殼
支持在線測量
日本filmetrics膜厚測量系統(tǒng)F20
| 平板 | 單元間隙、聚酰亞胺認為、ITO、AR膜國際要求、 各種光學(xué)膜等紮實。 |
|---|---|
| 半導(dǎo)體 | 抗蝕劑、氧化膜新趨勢、氮化膜可能性更大、非晶/多晶硅等 |
| 光學(xué)鍍膜 | 防反射膜、硬涂層等 |
| 薄膜太陽能電池 | CdTe新體系、CIGS空間廣闊、非晶硅等 |
| 引 | 砷化鋁鎵（AlGaAs）、磷化鎵（GaP）等 |
| 醫(yī)療的 | 鈍化效果、藥物涂層等 |
| 模型 | F20-UV | F20 | F20-近紅外 | F20-EXR | F20-UVX |
|---|---|---|---|---|---|
| 測量波長范圍 | 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1700nm | 190 – 1700nm |
| 膜厚測量范圍 | 1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 250μm | 15nm – 250μm | 1nm – 250μm |
| 準(zhǔn)確性* | ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1納米 | 2納米 | 3納米 | 2納米 | 1納米 | |
| 測量光斑直徑 | 支持高達(dá)1.5 毫米或 0.5 毫米 最小 0.1 毫米（可選） | ||||
| 光源 | 氘· 鹵素 | 鹵素 | 氘· 鹵素 | ||
* Filmometry 提供的測量 Si 基板上的 SiO2 膜時器件主體的精度。
