低壓力損失金屬氣體過濾器

產(chǎn)品型號： UCD系列

所屬分類：過濾器

產(chǎn)品時(shí)間：2025-05-03

簡要描述：日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
過濾器材料全部采用SUS316L開展面對面，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物供給，同時(shí)具備較高的耐熱性能。

詳細(xì)說明：

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

過濾器材料全部采用SUS316L便利性，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物拓展應用，同時(shí)具備較高的耐熱性能。
使用氮?dú)猓∟2）輸入實事求是，當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa集聚效應、流量為90SLM時(shí)，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa廣泛應用。
固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm提升，實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

規(guī)格

過濾精度	0.003μm
推薦流量	10～100?/min（各型號區(qū)別：參考流量特性曲線)
最高使用壓力	0.98MPa(142PSIG) at20℃
最大容許差壓	0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
最高使用溫度	460℃
外部泄漏量	2×10^-11Pa?m³/sec以下
構(gòu)成材料	外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L　內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件	1/4"Gasket seal情況、其它

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